จีนเปิดตัวมาตรฐานเครื่องกำเนิดโอโซนเกรดเซมิคอนดักเตอร์ตัวแรก ส่งเสริมอุตสาหกรรมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีนได้ก้าวมาถึงจุดสำคัญด้วยการเปิดตัวและการดำเนินการตามมาตรฐานกลุ่มครั้งแรกของประเทศสำหรับเครื่องกำเนิดโอโซนเกรดเซมิคอนดักเตอร์ "ข้อกำหนดทางเทคนิคสำหรับเครื่องกำเนิดโอโซนเกรดเซมิคอนดักเตอร์" (T/CIET 1946-2025) ซึ่งออกเมื่อวันที่ 9 ธันวาคม 2025 นำโดย Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. โดยความร่วมมือกับองค์กรชั้นนำ 17 แห่งทั่วทั้งห่วงโซ่อุปทานเซมิคอนดักเตอร์

มาตรฐานสำคัญนี้เติมเต็มช่องว่างที่สำคัญในข้อกำหนดทางเทคนิคภายในประเทศสำหรับอุปกรณ์โอโซนที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผลแบบแผง เครื่องกำเนิดโอโซนมีบทบาทสำคัญในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ รวมถึงการสะสมของฟิล์มบาง การทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ และการกำจัดสารต้านทานแสง ซึ่งประสิทธิภาพทางเทคนิคและความน่าเชื่อถือส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตในการผลิตชิป

เทคโนโลยีเครื่องโอโซนกลายเป็นสิ่งจำเป็นในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ ซึ่งข้อกำหนดด้านความสะอาดของพื้นผิวบรรลุถึงความแม่นยำระดับอะตอม การทดสอบในห้องปฏิบัติการล่าสุดแสดงให้เห็นว่าระบบการทำความสะอาดโอโซนด้วยรังสียูวีขั้นสูงสามารถลดการปนเปื้อนอินทรีย์บนเวเฟอร์ซิลิคอนจาก 50 นาโนเมตรเหลือเพียง 0.5 นาโนเมตร ซึ่งบรรลุการปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความสะอาดถึง 100 เท่าเมื่อเทียบกับวิธีการแบบเดิม ความแม่นยำระดับนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในขณะที่อุตสาหกรรมก้าวหน้าไปสู่โหนดกระบวนการ 5 นาโนเมตรและ 3 นาโนเมตร

เครื่องกำเนิดโอโซนทางอุตสาหกรรมที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ใช้วิธีปล่อยโคโรนาหรืออัลตราไวโอเลตเพื่อสร้างความเข้มข้นของโอโซนที่แม่นยำซึ่งปรับให้เหมาะกับความต้องการในการผลิตเฉพาะ ต่างจากกระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกทั่วไปที่ต้องอาศัยกรดซัลฟิวริกและไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ ซึ่งสามารถทิ้งสารเคมีตกค้างและสร้างน้ำเสียจำนวนมาก การทำความสะอาดด้วยโอโซนเป็นทางเลือกที่แห้งและไร้สารตกค้าง ซึ่งจะสลายตัวเป็นออกซิเจนตามธรรมชาติหลังการใช้งาน

มาตรฐานที่จัดตั้งขึ้นใหม่นี้ได้รับการพัฒนาผ่านความร่วมมืออย่างกว้างขวางที่เกี่ยวข้องกับผู้เล่นรายสำคัญในอุตสาหกรรม เช่น Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co., HuaHai Qingke Co., Tuojing Semiconductor Equipment และ Shengmei Semiconductor Equipment และอื่นๆ อีกมากมาย การมีส่วนร่วมในอุตสาหกรรมในวงกว้างนี้ทำให้มั่นใจได้ถึงความเข้มงวดทางวิทยาศาสตร์ การบังคับใช้ และความเป็นตัวแทนในระบบนิเวศของเซมิคอนดักเตอร์

การใช้งานเครื่องฆ่าเชื้อด้วยโอโซนเป็นมากกว่าการทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ แต่ยังรวมถึงกระบวนการออกซิเดชันขั้นสูงสำหรับการกำจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์ออกจากอุปกรณ์และโรงงานการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยีนี้กำจัดสารตกค้างจากโฟโตรีซิสต์ ร่องรอยของตัวทำละลายอินทรีย์ และการปนเปื้อนของโมเลกุลในอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งอาจส่งผลต่อผลผลิตของชิป

ความพยายามในการมาตรฐานซึ่งเริ่มต้นด้วยการอนุมัติโครงการในเดือนมีนาคม 2025 และสิ้นสุดด้วยการเปิดตัวครั้งสุดท้ายในเดือนธันวาคม 2025 ได้กำหนดข้อกำหนดทางเทคนิคที่ครอบคลุมและเกณฑ์มาตรฐานความน่าเชื่อถือสำหรับอุปกรณ์สร้างโอโซน ซึ่งช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีเกณฑ์เชิงปริมาณที่ชัดเจนสำหรับการเลือกอุปกรณ์และการตรวจสอบความถูกต้องของกระบวนการ

นักวิเคราะห์อุตสาหกรรมคาดการณ์ว่าตลาดเครื่องกำเนิดโอโซนทั่วโลกจะมีมูลค่าถึง 2.36 พันล้านดอลลาร์ภายในปี 2573 โดยเติบโตที่ CAGR ที่ 8.0% โดยได้แรงหนุนส่วนหนึ่งจากการเพิ่มการลงทุนในโครงสร้างพื้นฐานการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และความต้องการโซลูชันการทำความสะอาดขั้นสูง มาตรฐานใหม่ของประเทศจีนทำให้ผู้ผลิตในประเทศสามารถแข่งขันได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นในตลาดที่กำลังขยายตัวนี้ ในขณะเดียวกันก็สนับสนุนความคิดริเริ่มระดับชาติในวงกว้างเพื่อเสริมสร้างขีดความสามารถของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ

เมื่อมองไปข้างหน้า การดำเนินการตามมาตรฐานนี้คาดว่าจะเร่งการนำเครื่องกำเนิดโอโซนที่ผลิตในประเทศมาใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีน ซึ่งช่วยลดการพึ่งพาอุปกรณ์นำเข้า ในขณะเดียวกันก็รับประกันคุณภาพและประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ ในขณะที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ยังคงขยายตัวอย่างรวดเร็ว เทคโนโลยีโอโซนที่ได้มาตรฐานจะมีบทบาทสำคัญมากขึ้นในการทำให้เกิดสภาพแวดล้อมการผลิตที่แม่นยำและปราศจากการปนเปื้อนซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตชิปรุ่นต่อไป